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机械资讯 764期
台德携手打造先进雷射应用服务中心
助台湾机械业抢攻半导体及电子设备

采访，摄影/许淑玲
台湾机械工业同业公会 专员
因应5G与高效能运算先进制程商机，半导体设备产业需求强劲，根据国际半导体产业协会(SEMI)估计，今年市场规模可望成长6%，达632亿美元，明年更有机会一举突破700亿美元。
在经济部技术处科技专案的支持下，工研院与台湾机械工业同业公会及世界雷射应用领导品牌德国创浦集团(TRUMPF)将携手成立「台湾半导体与电子产业先进雷射应用服务中心」，结合德国最先进的高阶雷射源，搭配国产客制化的大银微平台与工研院的制程光路模组，为台湾半导体设备商提供关键升级技术，协助台湾的半导体产业增添战斗力。
三方于今(2020)年9月2日，举行合作意向书(MOU)签约仪式，由机械公会理事长柯拔希、台湾创浦总经理郑勇志及工研院协理吴诚文代表签约，经济部部长王美花与德国经济办事处处长林百科(Axel Limberg)出席，见证台德两国在半导体设备产业携手合作的历史时刻。
由机械公会、德国创浦集团与工研院打造的先进雷射应用服务中心，将提供设备厂商快速测试打样的机会，透过引进德国创浦的高阶精微加工雷射源，由工研院依据制程需求客制开发光学与控制模组并进行系统整合，完成后可以迅速与机械公会会员移机到客户端进行生产测试。此中心预计将在今(2020)年底前设置完成，将带来一个崭新、快速的设备供应模式，协助国内设备商以雷射应用强化非接触精微加工设备供应，巩固台湾半导体在全球供应链的地位。

王美花：台湾半导体还会发展好长一段时间

王美花致词时表示，去年因台德机械论坛在德国南部举行之便，参访创浦公司，创浦是一家族企业，也是全球顶尖的雷射源公司，艾司摩尔(ASML)就是用它的雷射源，所以它很贵，很多日本的机械也是采用创浦的雷射源，虽然日本的雷射源已经很好，但还是会采用创浦的雷射源。这次台湾机械业透过工研院居中当桥梁和创浦合作，因为创浦台湾总经理郑勇志很爱国，对这次合作下了苦工，促成今日的合作。
王美花表示，这个合作案对台湾产业有三个重大的意义：首先，现在半导体有一个革命性制程发展EUV(极紫外光)，德国创浦集团是艾司摩尔(ASML)EUV设备雷射源的供应伙伴，在雷射源及工具机的产值皆为全球前三，创浦的加入可说为台湾产业带来一个非常大的盟友；第二个重要意义是，创浦带来先进技术、机械公会带来客户，工研院有系统整合的能力，将带起整体产业技术服务能量，强化台南雷射聚落的发展，并为台湾雷射设备产业发展带来新契机；第三个意义是在半导体后段封装制程当中，如何尽可能不损坏晶粒，完成晶圆切割，雷射源的好坏将直接影响加工品质。
高阶雷射源设备成本很高，厂商财务负担大，而且如果要测试开发需要国外原厂配合，往往因为与国外厂商一来一往当中丧失商机。现在，这个中心可以让有需要导入高阶雷射源的业者，可以到这里打样测试，缩短距离。
王美花说，「台湾的半导体还会发展好长一段时间」，台湾机械产业如果能够将之转换为半导体设备或是高阶电子产业的设备，生意就可以再往上推进。让买国外设备的厂商改买台湾的机械，这个是经济部念兹在兹的期待。经济部有个传统一定要照顾机械公会，因为机械工业是产业之母，机械产业的升级，以及全球竞争力的提升，或是产业的合作，以及大家关切的对外签署FTA以及汇率问题等，都是经济部重视的议题。短期没办法解决的问题，但一定放在心上。希望今天的合作可以开启一个很好的机会，经济部也一定会从旁协助大家。

柯拔希：先进雷射应用服务中心 助台湾机械业抢攻半导体设备

柯拔希表示，因为去(2019)年台德机械论坛的因缘，促成今日合作议向书的签约。政府对机械产业的升级不遗余力，智慧机械也名列五+二创新产业之列，机械产业也不负众望一直在成长之中。机械业一直在寻求引进高阶制造技术，推升机械业的升级，雷射源是一个升级的重要环节，台湾的机械业、台湾的制造，甚至未来人类的科技，都需要雷射的加值。
早在2~3年前，参访了工研院雷射中心探讨机械业如何利用雷射，开始只想到应用在机械业的加工、切割及量测等，后来发现3D列印也应用到雷射，深入探讨甚至半导体的制程，如：微细加工也都会用到雷射。但发现台湾的电射应用离国际还有段距离，所以多方寻求资源，当初应用雷射这个构想向机械公会的母部会(经济部)反映，得到当时沈荣津部长的大力支持，给了雷射中心一些资源。同时尝试向科技部部长陈良基表达雷射对机械产业发展的重要性。
柯拔希指出，台湾产业的发展有很多需要产学研共同努力，不能只有产业或法人、或是学界各自努力，而是要产学研共同分工，依短中长期不同目标来打拼，科技部主导的学界主力在长期的目标，经济部工业局及技术处则掌管中短期发展目标和产业界一起努力。事实上台湾的发展很需要跨部会来达成短中长期的不同目标。
未来将集结台湾机械制造业者，在切割、熔接、热处理等都能利用雷射源来加工，今后机械加工除了减法的工法，雷射加工可以扮演加法的加工，所以，未来的切割机器可能有雷射源在上面，同时有减法及加法的加工。
除了工具机，未来也期望能够在电子设备有更大的发展空间，台湾机械产业是出口大国，去年出口278亿美元，占总出口值的8%，去年机械进口347亿美元，其中有一半以上是半导体或是电子设备，台湾要更努力在电子设备的生产制造。
在台德携手打造「台湾半导体与电子产业先进雷射应用服务中心」，由创浦提供设备以及技术，提供业者一个验证、打样的服务。可以取得不同的商机，对台湾在雷射的应用是一个重要的里程碑。期盼在半导体先进设备上也有一个很好的发展。
今天工研院扮演媒人的角色，法人可以协助台湾机械产业研发前瞻的技术，但近年法人的研发经费遭到削减、弱化，很需要经济部加大力量挹注资源，希望经济部能够给予雷射的发展更多资源，让工研院这个媒人能够永续经营。

郑勇志：继今年在南科成立技术培训中心再成立先进雷射应用服务中心

郑勇志表示，今天的因缘主因去年王美花部长到德国创浦公司的参访，当时集团副主席亲自接待部长。创浦自1923年成立至今，一直维持家族营运的方向，着重在技术及各方面的研发，今年刚好是雷射发明的第六十年，是雷射发展一个很好的里程碑，创浦在半导体的投资以及企图心非常的强烈，在台湾希望能够和产业有多一点的结合。
雷射加工相关设备与应用需求愈来愈广，创浦集团除与国际半导体设备大厂ASML共同合作开发的极紫外光EUV光刻机外，自行研发制造的超快飞秒fs/皮秒ps先进雷射源技术，在微加工领域获得国际电子设备大厂采用，是当前「半导体奈米制程竞赛」中不可或缺的设备。
郑勇志说，德商企业，一般「说得少、做得多」。但今天希望能够创造一些德国的亮点。台湾是全球半导体重点市场之一，创浦集团继今年在南科与合作伙伴共同成立技术培训中心。今天和工研院南分院共同设立先进雷射应用服务中心，希望进一步参与台湾半导体设备产业的合作，持续为高科技业导入最新雷射技术，期盼透过台德双方的技术合作，强化台湾国际竞争力，共创新商机。
台湾是全球半导体的重镇，有一流的人才及完整的产业链，德国创浦集团希望能够和台湾有多方面的合作，透过台湾在制程的优势和know how，和大家一起创造新的商机。

吴诚文：雷射应用五花八门 协助机械业进入半导体与电子产业专用设备

吴诚文致词时表示，雷射中心位在工研院南分院六甲院区，很多人都不知道，当初工研院在六甲院区设立雷射中心，是为了台南科学园区而设立。20年前第一个到台南科学园区设厂的是半导体产业，台积电、联电以及光电面板厂奇美电子。工研院创造台湾半导体产业之后，希望能够从新竹一直往南扩散，过去20年来，南科也扶植了半导体制造业，慢慢的周边的上下游产业也加进来。之后发现机械公会的会员厂商开始注意到半导体产业的重要性，逐渐加入半导体设备的发展。
半导体设备对传统的机械设备商而言，是一个较陌生的领域，要进入半导体设备的供应链，必需要了解半导体和电子，甚至在南分院雷射中心的努力之下，连光的领域也要整合起来，是一个非常跨领域的设备行业，机械业已经知道，不只是机械而已，现在也了解，一定要跨出去(跨领域整合)才行。机械业是非常重要的产业之母，而电子在前面冲得很快，领导台湾经济的发展，这二个产业的强强结合，是经济部要重点协助的项目。
吴诚文说，雷射的应用非常的多元化，只要年轻人想得出来有很多的应用领域，可以帮大家开创新的商机，目前最热门的应用，除了极紫外光EUV应用在主流的半导体曝光机上，还有传统的切削、钻孔；雷射的应用五花八门是我们想像不到的，也可以是加法的加工，所以3D列印放在雷射中心里面，其他还有量测、校准。全台湾最大的雷射应用的光路设计团队就在工研院南分院雷射中心，跨领域的系统整合也是很困难的一项，需要长期的培养人才，工研院南分院10几年来就是在培养这样的专业团队。
机械公会拥有国内主要的设备供应商，创浦则为世界第一大雷射厂商，掌握众多高阶雷射源产品，未来结合工研院深耕多年的高功率雷射加工或是精微雷射加工制程，可望在台湾研发出半导体与电子产业专用的高阶雷射源及设备，扩大国内半导体设备产业供应链的国际输出。
非感谢创浦引进这样的技术、光源，让工研院有机会协助机械公会的会员，把不同应用的系统设计开发出来，进到台湾关键(主流)的半导体产业，希望这样的结合，透过工研院的努力，能够让台湾产业的发展更上层楼，把台湾机械业带到一个高科技的领域，和台湾半导体产业一样，能够在全世界发光发热，永续发展。
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